表面観測用試料冷却装置及び表面観測装置

開放特許情報番号
L2018001255
開放特許情報登録日
2018/7/24
最新更新日
2018/7/24

基本情報

出願番号 特願2013-154298
出願日 2013/7/25
出願人 国立研究開発法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2015-025592
公開日 2015/2/5
登録番号 特許第6164733号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 表面観測用試料冷却装置及び表面観測装置
技術分野 機械・加工、電気・電子、情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 表面観測用試料冷却装置及び表面観測装置
目的 10↑(−10)Torr以下の超高真空中、7.2K未満に冷却可能であり、その環境で、装置外からイオンビームを試料の表面に照射し、前記表面からの反射ビームを装置外で測定可能であり、かつ、真空を破らず、試料交換が可能である表面観測用試料冷却装置及び表面観測装置を提供する。
効果 表面観測用試料冷却装置は、超高真空中、試料表面の最低到達温度を7.2K未満に冷却可能であり、その環境で、試料を電子衝撃加熱可能なフィラメントを備えることにより、試料の表面を1000K以上に加熱して、清浄化が可能、装置外からイオン等のビームを試料の表面に照射し、表面からの反射ビームを装置外で測定可能であり、低温での熱伝導に優れ、試料の低温化を速やかに安定化させるとともに、試料を電気的に絶縁して、ビームの試料電流が測定でき、かつ、真空を破らず、試料交換が可能である。
技術概要
筒状の熱シールドと、
前記筒内に配置された伝熱棒と、
前記伝熱棒に取り付けられた高熱伝導性電気絶縁板と、
前記高熱伝導性電気絶縁板に試料ホルダー押さえ込み板により押さえ込まれた試料ホルダーと、
前記熱シールドに設けられた開閉部と、
前記開閉部に設けられた2つのビーム孔とを有し、
前記高熱伝導性電気絶縁板に孔部が設けられており、前記孔部内にフィラメントが設けられていることを特徴とする表面観測用試料冷却装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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