ガスセンサ＿１６＿ガス分析装置およびガス分析方法＿２０１７年度ＷＩＰＯ　ＧＲＥＥＮ　ＤＢ登録済

基本情報

出願番号	特願2016-081274
出願日	2016/4/14
出願人	富士通株式会社
公開番号	特開2017-191036
公開日	2017/10/19
登録番号	特許第6682975号
特許権者	富士通株式会社
発明の名称	ガス分析装置およびガス分析方法
技術分野	情報・通信
機能	制御・ソフトウェア
適用製品	ガス分析装置およびガス分析方法
目的	還元性ガスおよび塩基性ガスの両方を含むガスに対して良好な選択比が得られるガス分析装置およびガス分析方法を提供する。
効果	還元性ガスおよび塩基性ガスの両方を含むガスに対して良好な選択比が得られる。
技術概要	チャンバと、前記チャンバ内に設けられ、第１の感ガス材を備える第１ガスセンサおよび第２の感ガス材を備える第２ガスセンサと、前記第１の感ガス材および前記第２の感ガス材の各抵抗変化を検出する検出部と、を備え、前記第１ガスセンサの感ガス材は、Ｓｎ，Ｗ，ＺｎおよびＩｎの少なくともいずれかを主材料とする酸化物半導体、またはＣを主材料とする半導体であり、前記第２ガスセンサの感ガス材は、ＣｕもしくはＡｇのハロゲン化物または酸化物を主材料とすることを特徴とするガス分析装置。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

アピール内容	ファミリ：米国_15/466384, 【SDGs目標】　3.すべての人に健康と福祉を

登録者名称	富士通株式会社