ガスセンサ_16_ガス分析装置およびガス分析方法_2017年度WIPO GREEN DB登録済

開放特許情報番号
L2018001141
開放特許情報登録日
2018/5/29
最新更新日
2018/5/29

基本情報

出願番号 特願2016-081274
出願日 2016/4/14
出願人 富士通株式会社
公開番号 特開2017-191036
公開日 2017/10/19
発明の名称 ガス分析装置およびガス分析方法
技術分野 情報・通信
機能 制御・ソフトウェア
適用製品 ガス分析装置およびガス分析方法
目的 還元性ガスおよび塩基性ガスの両方を含むガスに対して良好な選択比が得られるガス分析装置およびガス分析方法を提供する。
効果 還元性ガスおよび塩基性ガスの両方を含むガスに対して良好な選択比が得られる。
技術概要
チャンバと、
前記チャンバ内に設けられ、第1の感ガス材を備える第1ガスセンサおよび第2の感ガス材を備える第2ガスセンサと、
前記第1の感ガス材および前記第2の感ガス材の各抵抗変化を検出する検出部と、を備え、
前記第1ガスセンサの感ガス材は、Sn,W,ZnおよびInの少なくともいずれかを主材料とする酸化物半導体、またはCを主材料とする半導体であり、
前記第2ガスセンサの感ガス材は、CuもしくはAgのハロゲン化物または酸化物を主材料とすることを特徴とするガス分析装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

アピール内容 ファミリ:米国_15/466384, 【SDGs目標】 3.すべての人に健康と福祉を

登録者情報

登録者名称 富士通株式会社

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【有】   
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