| 出願番号 |
特願2016-155902 |
| 出願日 |
2016/8/8 |
| 出願人 |
富士通株式会社 |
| 公開番号 |
特開2018-025412 |
| 公開日 |
2018/2/15 |
| 登録番号 |
特許第6786941号 |
| 特許権者 |
富士通株式会社 |
| 発明の名称 |
ガスセンサーデバイス、ガス測定装置、及びガスセンサーデバイスの作製方法 |
| 技術分野 |
情報・通信 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
ガスセンサーデバイス、ガス測定装置、及びガスセンサーデバイスの作製方法 |
| 目的 |
ＣｕＢｒを用いたガスセンサーデバイスにおいて、応答速度を最大にする構成と手法を提供する。 |
| 効果 |
臭化第一銅（ＣｕＢｒ）を用いたガスセンサーデバイスで、応答速度を最大にすることができる。 |
技術概要
 |
酸化第一銅（Ｃｕ2Ｏ）を下地層とする銅（Ｃｕ）膜を、臭化第二銅（Ｃｕ2Ｂｒ）の溶液を用いて臭化処理を行うことにより、臭化第一銅（ＣｕＢｒ）と大気との界面をなす結晶面が主に（１１１）面に制限された、臭化第一銅（ＣｕＢｒ）の検知膜１７が得られ、（１１１）面よりもアンモニアの吸着速度が低いものの割合を極小化する。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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