超微小質量検出装置

開放特許情報番号
L2018001134
開放特許情報登録日
2018/5/28
最新更新日
2018/5/28

基本情報

出願番号 特願2014-195514
出願日 2014/9/25
出願人 津野 洋明
公開番号 特開2016-065817
公開日 2016/4/28
登録番号 特許第6326659号
特許権者 津野 洋明
発明の名称 超微小質量検出装置
技術分野 情報・通信
機能 制御・ソフトウェア、検査・検出
適用製品 超微小質量検出装置
目的 被検出側微小機械振動子の固有振動数と検出照準側微小機械振動子の固有振動数とを静電引力で一致させる際の直流電圧に基づいて被検出質量体の質量を高精度に算出する超微小質量検出装置を提供する。
効果 被検出側直流電圧印加手段で印加した直流電圧に基づいて質量算出手段で被検出質量体の質量を算出することができる。
被検出側微小機械振動子および検出照準側微小機械振動子のそれぞれの共振周波数を別個に制御することができる。
梁自由端部の振幅を大きくすることが可能になるため、質量検出時の微小振動であっても被検出質量体の質量を感度良く検出することができる。
技術概要
被検出質量体と一体に振動する片持ち梁状の被検出側微小機械振動子と前記被検出側微小機械振動子と並列配置して別個に振動する片持ち梁状の検出照準側微小機械振動子と前記被検出側微小機械振動子と検出照準側微小機械振動子の梁中間連結部位で相互に架橋連結して被検出側微小機械振動子および検出照準側微小機械振動子を相互に連結した状態で振動する架橋連結子とを有する質量検知手段と、
前記質量検知手段の被検出側微小機械振動子および検出照準側微小機械振動子を加振させる交流電圧印加手段と、
前記質量検知手段の被検出側微小機械振動子および検出照準側微小機械振動子にそれぞれ生じる微小振動の共振周波数を計測する微小振動計測手段と、
前記質量検知手段の被検出側微小機械振動子に静電引力を発生させる被検出側直流電圧印加手段と、
前記被検出側直流電圧印加手段の直流電圧を制御して微小振動計測手段で計測された被検出側微小機械振動子の共振周波数を検出照準側微小機械振動子の共振周波数に一致させる共振周波数制御手段と、
前記被検出側直流電圧印加手段で印加した直流電圧に基づいて被検出質量体の質量を算出する質量算出手段とを少なくとも備えている。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 津野 洋明

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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