センシング装置

開放特許情報番号
L2018000989
開放特許情報登録日
2018/5/15
最新更新日
2018/5/15

基本情報

出願番号 特願2015-137817
出願日 2015/7/9
出願人 国立大学法人九州工業大学
公開番号 特開2017-020861
公開日 2017/1/26
発明の名称 センシング装置
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 センシング装置
目的 圧電体に生じる弾性表面波を利用して、被検体の物理量を安定的に計測するセンシング装置を提供する。
効果 本発明に係るセンシング装置は、圧電体の弾性表面波の進行路の接触位置より下流側で光が反射して生じるr次回折光及びs次回折光の各強度を計測する光検出手段と、計測されたr次回折光及びs次回折光の各強度を基に弾性表面波の振幅を算出し、被検体の物理量を求める演算機とを備えるので、被検体の物理量の導出に、空間中の電磁波を受信して生成され得る電気信号を用いる必要がなく、被検体の物理量を安定的に計測することが可能である。
技術概要
圧電体に弾性表面波を発生させて、該圧電体に接触させた被検体の物理量を求めるセンシング装置において、
前記被検体の接触位置を通過する前記弾性表面波を、前記圧電体に発生させる入力電極と、
前記圧電体を進む前記弾性表面波の進行路の前記接触位置より下流側に光を照射する照射手段と、
前記進行路の前記接触位置の下流側で前記光が反射して生じるr次回折光及びs次回折光の各強度を計測する光検出手段と、
計測された前記r次回折光及び前記s次回折光の各強度を基に前記弾性表面波の振幅を算出し、前記被検体の物理量を求める演算機とを備えることを特徴とするセンシング装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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