出願番号 |
特願2014-266464 |
出願日 |
2014/12/26 |
出願人 |
国立大学法人 熊本大学 |
公開番号 |
特開2016-127130 |
公開日 |
2016/7/11 |
発明の名称 |
加工方法及び加工装置 |
技術分野 |
電気・電子、無機材料 |
機能 |
機械・部品の製造 |
適用製品 |
加工方法及び加工装置 |
目的 |
ダイヤモンド等の難加工性の高機能材料表面の微小な領域を高能率かつ高精度に加工することができる加工方法及びこうした加工方法を実現可能な加工装置を提供する。 |
効果 |
本発明を適用した加工方法及び加工装置では、ダイヤモンド等の難加工性の高機能材料表面の微小な領域を高能率かつ高精度に加工することができる。 |
技術概要
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加工装置1は、オゾンガス供給ポート2と、無機酸化物製工具3と、ダイヤモンド部材4を保持する試料ホルダー5を有している。オゾンガス供給ポート2は、無機酸化物製工具3の先端近傍に配置され、無機酸化物製工具3及びダイヤモンド部材4の接触部位にむけてオゾンガス6を供給する。無機酸化物製工具3の先端表面は、オゾンにより清浄化かつ親水化処理され、ダイヤモンド部材4が接して被加工物が研磨されることとなる。 |
実施実績 |
【無】 |
許諾実績 |
【無】 |
特許権譲渡 |
【否】
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特許権実施許諾 |
【可】
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