| 出願番号 |
特願2014-266464 |
| 出願日 |
2014/12/26 |
| 出願人 |
国立大学法人 熊本大学 |
| 公開番号 |
特開2016-127130 |
| 公開日 |
2016/7/11 |
| 発明の名称 |
加工方法及び加工装置 |
| 技術分野 |
電気・電子、無機材料 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
加工方法及び加工装置 |
| 目的 |
ダイヤモンド等の難加工性の高機能材料表面の微小な領域を高能率かつ高精度に加工することができる加工方法及びこうした加工方法を実現可能な加工装置を提供する。 |
| 効果 |
本発明を適用した加工方法及び加工装置では、ダイヤモンド等の難加工性の高機能材料表面の微小な領域を高能率かつ高精度に加工することができる。 |
技術概要
 |
加工装置１は、オゾンガス供給ポート２と、無機酸化物製工具３と、ダイヤモンド部材４を保持する試料ホルダー５を有している。オゾンガス供給ポート２は、無機酸化物製工具３の先端近傍に配置され、無機酸化物製工具３及びダイヤモンド部材４の接触部位にむけてオゾンガス６を供給する。無機酸化物製工具３の先端表面は、オゾンにより清浄化かつ親水化処理され、ダイヤモンド部材４が接して被加工物が研磨されることとなる。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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