軽元素分析装置及び軽元素分析方法

基本情報

出願番号	特願2014-132149
出願日	2014/6/27
出願人	国立研究開発法人物質・材料研究機構
公開番号	特開2016-011840
公開日	2016/1/21
登録番号	特許第6367618号
特許権者	国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称	軽元素分析装置及び軽元素分析方法
技術分野	情報・通信
機能	機械・部品の製造、検査・検出
適用製品	軽元素分析装置及び軽元素分析方法
目的	１０ｎｍ以下の高空間分解能で軽元素を容易に検出可能な軽元素分析装置及び軽元素分析方法を提供すること。
効果	１０ｎｍ以下の高空間分解能で軽元素を容易に検出できる。
技術概要	イオン検出器２３と電子検出器２４と試料２５を配置可能な基板ホルダー２６とを有する軽元素分析装置１１であり、基板ホルダー２６をイオン検出器２３及び電子検出器２４の位置に対して移動可能とされ、分析対象部２５ａをイオン検出面２３ａ及び電子検出面２４ａに対向配置可能とされ、最短距離Ｄ２次イオン飛行距離が１２ｍｍ以上３００ｍｍ以下であり、かつ、最短距離Ｄ２次電子飛行距離が２ｍｍ以上１００ｍｍ以下である軽元素分析装置を用いることにより、前記課題を解決できる。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者名称	国立研究開発法人物質・材料研究機構