軽元素分析装置及び軽元素分析方法

開放特許情報番号
L2018000905
開放特許情報登録日
2018/5/9
最新更新日
2018/9/20

基本情報

出願番号 特願2014-132149
出願日 2014/6/27
出願人 国立研究開発法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2016-011840
公開日 2016/1/21
登録番号 特許第6367618号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 軽元素分析装置及び軽元素分析方法
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 軽元素分析装置及び軽元素分析方法
目的 10nm以下の高空間分解能で軽元素を容易に検出可能な軽元素分析装置及び軽元素分析方法を提供すること。
効果 10nm以下の高空間分解能で軽元素を容易に検出できる。
技術概要
イオン検出器23と電子検出器24と試料25を配置可能な基板ホルダー26とを有する軽元素分析装置11であり、基板ホルダー26をイオン検出器23及び電子検出器24の位置に対して移動可能とされ、分析対象部25aをイオン検出面23a及び電子検出面24aに対向配置可能とされ、最短距離D2次イオン飛行距離が12mm以上300mm以下であり、かつ、最短距離D2次電子飛行距離が2mm以上100mm以下である軽元素分析装置を用いることにより、前記課題を解決できる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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