ダイヤモンド膜の製造方法

開放特許情報番号
L2018000882
開放特許情報登録日
2018/4/30
最新更新日
2018/4/30

基本情報

出願番号 特願2011-155956
出願日 2011/7/14
出願人 日本バイリーン株式会社
公開番号 特開2013-018692
公開日 2013/1/31
登録番号 特許第5777962号
特許権者 日本バイリーン株式会社
発明の名称 ダイヤモンド膜の製造方法
技術分野 金属材料、無機材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 ダイヤモンド膜及びその製造方法
目的 ダイヤモンドが本来有する物性の高いダイヤモンド膜、及びその製造方法を提供すること。
効果 熱抵抗が1.0x10↑(−8)(m↑2・K/W)以下のダイヤモンド膜という、熱抵抗の低いダイヤモンド膜である。つまり、熱抵抗が低いということは、ダイヤモンド構造が多いことを意味するため、熱伝導率は勿論のこと、絶縁破壊強度、硬度、弾性率などダイヤモンドが本来有する性能に優れている。
技術概要
 
(1)一次粒子径が1〜20nmのナノダイヤモンド粒子を準備する工程、
(2)前記ナノダイヤモンド粒子を基材に付着させる工程、
(3)前記ナノダイヤモンド粒子付着基材を熱処理又はプラズマ処理する工程、及び
(4)前記処理したナノダイヤモンド粒子付着基材のナノダイヤモンド粒子をCVD法により成長させ、ダイヤモンド膜を形成する工程、
とを含む、ダイヤモンド膜の製造方法。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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