クリーニング終点検知方法

開放特許情報番号
L2018000775
開放特許情報登録日
2018/4/18
最新更新日
2018/4/18

基本情報

出願番号 特願2012-193268
出願日 2012/9/3
出願人 大陽日酸株式会社
公開番号 特開2014-049684
公開日 2014/3/17
登録番号 特許第5973850号
特許権者 大陽日酸株式会社
発明の名称 クリーニング終点検知方法
技術分野 電気・電子、化学・薬品
機能 表面処理
適用製品 成膜装置、ドライクリーニング専用装置
目的 半導体成膜装置(CVD装置やエピタキシャル装置等)の部材への堆積物を取り除くクリーニング時において、当該部材の損傷を抑制する方法を提供する。
効果 『堆積物とクリーニングガス(主にフッ素)との反応により生成される生成物の濃度』と『クリーニングに寄与していないフッ素ガスの濃度』に基づいて、クリーニングの終点を検知することで、従来よりもクリーニング時間を短くでき、フッ素ラジカルによる部材への損傷の抑制が可能となる。
また、クリーニングにプラズマ発生源を必要としないため、成膜装置やクリーニング専用装置の構成がより簡単になる。
技術概要
成膜装置を構成する部材に付着した堆積物のクリーニングの終点を検知するクリーニング終点検知方法であって、
クリーニング開始工程(真空チャンバ内に、クリーニングガスであるフッ素系ガスの供給を開始)と、
圧力測定工程(クリーニング中に、チャンバ内から排出される排ガスの圧力を連続的に測定)と、
吸光度測定工程(クリーニング中に、排ガスの圧力を大気圧とし、大気圧とされた排ガスに光を照射することで得られるフッ素系ガスに含まれるフッ素ガスの吸光度を連続的に測定)と、
濃度測定工程(連続的に測定されたフッ素ガスの吸光度に基づき、排ガスに含まれるフッ素ガスの濃度を連続的に取得)と、
終点検知工程(排ガスの圧力、及びフッ素ガスの濃度に基づいて、クリーニングの終点を検知)と、
供給停止工程(クリーニングの終点を検知後、フッ素系ガスの供給を停止)を含み、
終点検知工程では、排ガスの圧力が第1のしきい値よりも小さく、かつ所定の時間内におけるフッ素ガスの濃度の変動が所定の範囲に設定された第2のしきい値に収まった際、クリーニングの終点を検知する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 大陽日酸株式会社

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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