金属薄膜材料および金属薄膜の成膜方法

開放特許情報番号
L2018000769
開放特許情報登録日
2018/4/18
最新更新日
2018/4/18

基本情報

出願番号 特願2011-248719
出願日 2011/11/14
出願人 大陽日酸株式会社
公開番号 特開2013-104099
公開日 2013/5/30
登録番号 特許第5795520号
特許権者 大陽日酸株式会社
発明の名称 金属薄膜材料および金属薄膜の成膜方法
技術分野 化学・薬品、電気・電子
機能 表面処理、材料・素材の製造
適用製品 金属薄膜材料および金属薄膜
目的 CVD法、ALD法で有機金属薄膜材料を用いた場合、その蒸気圧が低いため、(1)配管内で凝縮し、配管を閉塞させてしまう、(2)配管壁面に吸着した有機金属をパージするのに時間がかかってしまう、(3)(1)及び(2)の発生により供給量が減少し、単位時間あたりの成膜量が少なくなってしまう等の問題があった。
そこで、これらの問題を解決できる金属薄膜材料および金属薄膜の成膜方法を提供することを目的とする。
効果 金属薄膜材料が、環状炭化水素を含み、炭素、窒素、水素ならびに金属元素のみからなり、酸素を含まない構造であるので、蒸気圧を向上させられる。
その結果、(1)単位時間当たりの有機金属の供給量が増大し、(2)配管へ吸着した原料を効率よくパージでき、(3)単位時間当たりの成膜量が増大する。
技術概要
イメージ図の化学式で示される環状炭化水素を含み、炭素、窒素、水素ならびに金属元素のみからなり、酸素を含まない構造であることを特徴とする金属薄膜材料。
化学式(1)において、mは4〜6の整数であり、R1およびR2は、いずれも水素またはCnH2n+1(nは1〜3の整数)で表される炭化水素であり、Mは、鉄、ニッケル、またはコバルトである。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 大陽日酸株式会社

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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