光学的変位測定装置

開放特許情報番号
L2018000735
開放特許情報登録日
2018/4/20
最新更新日
2018/4/20

基本情報

出願番号 特願2007-119567
出願日 2007/4/27
出願人 株式会社ミツトヨ
公開番号 特開2008-275453
公開日 2008/11/13
登録番号 特許第5164424号
特許権者 株式会社ミツトヨ
発明の名称 光学的変位測定装置
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 光学的変位測定装置
目的 測定対象物の表面が平坦でない場合でも、高精度の変位測定を可能とする光学的変位測定装置を提供する。
効果 測定対象物の表面が平坦でなくても、入射される光の当る部位が測定対象物の変位に応じて異なることを抑制でき、高精度の変位測定が可能となる。
また、円錐台形状プリズムは、中心部に光源からの光を通す中空穴を有するので、測定対象物への入射光の損失とプリズムがあった場合の内部反射を防ぐことができる。
技術概要
光源からの光を、対物光学系を介して測定対象物に入射し、測定対象物からの反射光を検出部で検出して、対物光学系と測定対象物との間の変位を測定する光学的変位測定装置において、
対物光学系は、光軸に垂直な平坦部をそれぞれ有する広面積平坦部と狭面積平坦部と、広面積平坦部と狭面積平坦部を接続する円錐面とを含む円錐台形状プリズムであって、狭面積平坦部を有する頂角側を測定対象物に向け、光軸に平行な平行光を、広面積平坦部から狭面積平坦部を通ってそのまま測定対象物の表面に垂直に入射し、測定対象物からの反射光を円錐面で受けて検出部に導く円錐台形状プリズムであり、
対物光学系と検出部との間に設けられ、円錐台形状プリズムを通ってきた測定対象物からの反射光を結像する結像レンズと、
結像レンズと検出部との間であって結像レンズの焦点位置に配置され、円錐台形状プリズムを通ってきた測定対象物からの反射光のうち光軸に平行な光のみを通すピンホール光学素子と、
を備えることを特徴とする光学的変位測定装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 株式会社ミツトヨ

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2018 INPIT