新規チオール化合物による連鎖移動剤、共重合体及び共重合体の製造方法

開放特許情報番号
L2018000672
開放特許情報登録日
2018/4/13
最新更新日
2018/4/13

基本情報

出願番号 特願2004-013879
出願日 2004/1/22
出願人 丸善石油化学株式会社
公開番号 特開2004-292428
公開日 2004/10/21
登録番号 特許第3679404号
特許権者 丸善石油化学株式会社
発明の名称 新規チオール化合物による連鎖移動剤、共重合体及び共重合体の製造方法
技術分野 有機材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 新規チオール化合物、連鎖移動剤、共重合体及びその製造方法
目的 半導体の製造における極微細なパターン形成において、基板との密着性が高くパターン倒れが少ないレジストパターンを得るための塗膜形成用ポリマーとして好適な、新規な共重合体及び該共重合体を製造する方法、並びに、これらの塗膜形成用ポリマーとして好適な共重合体の製造における連鎖移動剤として有用な新規チオール化合物を提供する。
効果 半導体の製造のリソグラフィーにおいて基板密着性に優れる塗膜形成用ポリマーを製造するための連鎖移動剤として有用であり、又、これを連鎖移動剤として使用して得られる本発明の共重合体は、基板との密着性に優れ、特に極微細なパターン形成において、パターン倒れが少ないレジストパターンを形成するための塗膜形成用ポリマーとして好適に用いることができる。更に、本発明の共重合体は、パターン形成時に露光部と未露光部境界面におけるレジストパターンが平滑化され、ラインエッジラフネスの改善効果が期待される。
技術概要
 
式(1)
【化1】
(式中、R↑1は炭素数1〜15の直鎖状、分岐状又は環状の飽和炭化水素からなる2価の置換基を表す。)
で表されるチオール化合物よりなることを特徴とする塗膜形成用共重合体の製造に有用な連鎖移動剤。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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