共重合体、共重合体の製造方法及び新規チオール化合物

開放特許情報番号
L2018000671
開放特許情報登録日
2018/4/13
最新更新日
2018/4/13

基本情報

出願番号 特願2003-356410
出願日 2003/10/16
出願人 丸善石油化学株式会社
公開番号 特開2005-120214
公開日 2005/5/12
登録番号 特許第4344212号
特許権者 丸善石油化学株式会社
発明の名称 共重合体、共重合体の製造方法及び新規チオール化合物
技術分野 有機材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 共重合体、共重合体の製造方法及び新規な前記チオール化合物
目的 半導体の製造における極微細なパターン形成において、基板との密着性が高くパターン倒れが少ないレジストパターンを得るための塗膜形成用ポリマーとして好適な、新規な共重合体及び該共重合体を製造する方法、並びに、これらの塗膜形成用ポリマーとして好適な共重合体の製造における連鎖移動剤として有用な新規チオール化合物を提供する。
効果 本発明の共重合体は、高分子鎖末端にラクトン構造を有するため基板との密着性に優れ、特に半導体の製造のリソグラフィーにおいて極微細なパターン形成を行う際に、パターン倒れが少ないレジストパターンを形成するための塗膜形成用ポリマーとして好適に用いることができる。又、本発明の新規チオール化合物は、連鎖移動剤として使用した際に、得られる共重合体の基板への密着性の向上効果が高く、更に脂環構造を含むことにより耐エッチング性の改善も期待できるため、上記の共重合体の製造に極めて好適に用いることができる。
技術概要
 
下記式(1−b)
【化1】
(式中、R↑1〜R↑6のうち何れか1つはチオール基を、他は各々独立して水素原子、メチル基又はエチル基を、Yはメチレン基、ジメチレン基又は酸素原子を、nは1又は2の整数をそれぞれ表し、n=2における二つのYは各々同じでも異なっていてもよい。)
で表されるチオール化合物を連鎖移動剤として使用し、エチレン性二重結合を有する2種以上の重合性化合物をラジカル共重合させることにより得られることを特徴とする共重合体。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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