Ti−Ni−Zr−Co高温形状記憶合金およびその製造方法

開放特許情報番号
L2018000536
開放特許情報登録日
2018/3/8
最新更新日
2018/3/8

基本情報

出願番号 特願2015-125449
出願日 2015/6/23
出願人 国立研究開発法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2017-008373
公開日 2017/1/12
発明の名称 Ti−Ni−Zr−Co高温形状記憶合金およびその製造方法
技術分野 金属材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 Ti−Ni−Zr−Co高温形状記憶合金
目的 従来のTiNiの二元合金よりも高い温度領域における、形状記憶合金での利用に適した特性を有する、高温形状記憶合金を提供すること。
効果 本発明のTi−Ni−Zr−Co系高温形状記憶合金によれば、高い変態温度(マルテンサイト変態温度が80℃以上)を有し、なおかつ変態温度ヒステリシスが小さい(変態温度ヒステリシスが40℃未満)ため、従来のTiNiの二元合金よりも高い温度領域での形状記憶合金での利用に適した特性が得られる。
技術概要
多元スパッタリング装置を用いてZrとCoの含有量を変えたTi−Ni−Zr−Co合金薄膜を作製した。図1は多元スパッタリング装置の一例を示す概略構成図で、回転式(carousel type)の多元マグネトロンスパッタリング装置の場合を示している。当該合金薄膜はガラス基板上に厚さ1.5μmのCu薄膜を成膜し、さらに当該スパッタリング装置で厚さ8μmのCo、Ni、Zr、Tiの合金薄膜を積層した。各ターゲットの電力は、例えばCoについて20−69W、Niについて243−352W、Zrについて111−331W、Tiについて700Wとした。スパッタ後に、硝酸でCu薄膜を溶かして、Ti−Ni−Zr−Co合金薄膜をガラス基板から剥離させて薄膜単体とした。作製直後の薄膜はアモルファスになっているので、バルク材で、通常、行われている950℃で10時間の熱処理を行って結晶化をさせた。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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