試料載置ユニット、真空オペランド測定装置、及びリチウムイオン二次電池を用いたオペランド測定方法

開放特許情報番号
L2018000523
開放特許情報登録日
2018/3/8
最新更新日
2018/3/8

基本情報

出願番号 特願2015-155712
出願日 2015/8/6
出願人 国立研究開発法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2017-033889
公開日 2017/2/9
発明の名称 試料載置ユニット、真空オペランド測定装置、及びリチウムイオン二次電池を用いたオペランド測定方法
技術分野 電気・電子、情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 試料載置ユニット及び真空オペランド測定装置
目的 走査型ヘリウムイオン顕微鏡等を用いてのオペランド測定において、狭隘な真空槽内に設置される被測定対象の電子デバイス等に給電を行うことが円滑に行える料載置ユニットを提供すること。
効果 本発明の試料載置ユニット及びこれを用いた真空オペランド測定装置によれば、全固体リチウムイオン二次電池を給電装置に用いたので、狭隘なX線、電子線またはイオンビームの照射装置の真空槽内に当該二次電池を収容できると共に、当該二次電池は真空中での使用が可能な程度の密封容器に封止されているため、真空槽内の被測定対象物への給電が簡便にでき、真空中のオペランド観測が簡便に行える。
技術概要
真空槽内のX線、電子線またはイオンビームの照射領域に取り付けられる試料載置ユニットであって、被測定対象物(20)を載置する領域(14)と、前記被測定対象物に給電するための全固体リチウムイオン二次電池(36)を載置する領域(30)とを備え、前記X線、電子線またはイオンビームの照射装置に設置された状態では、前記真空槽内に収容されることを特徴とする。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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