エリプソメトリ装置およびエリプソメトリ方法

基本情報

出願番号	特願2018-535670
出願日	2017/8/21
出願人	兵庫県公立大学法人
公開番号	WO2018/038064
公開日	2018/3/1
登録番号	特許第6817642号
特許権者	兵庫県公立大学法人
発明の名称	エリプソメトリ装置およびエリプソメトリ方法
技術分野	情報・通信、生活・文化
機能	機械・部品の製造
適用製品	エリプソメトリ装置およびエリプソメトリ方法
目的	簡単な構成により、測定効率を向上できるエリプソメトリ装置およびエリプソメトリ方法を提供する。
効果	ホログラフィを用いるものであり、少ないショット数で多量の振幅位相データが得られるので、高速で高精度な測定が可能であり、非常に高い感度で偏光解析ができる。
技術概要	物体から放射される光の偏光解析に用いるエリプソメトリ装置であって、データ取得部と、データ解析部と、を備え、前記データ解析部は、光波再生部と、物体光平面波展開部と、偏光係数生成部と、演算部と、を備える、ことを特徴とするエリプソメトリ装置。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者名称	兵庫県公立大学法人