シリコン構造体、シリコン構造体の製造装置及びシリコン構造体の製造方法

開放特許情報番号
L2018000455
開放特許情報登録日
2018/2/28
最新更新日
2018/2/28

基本情報

出願番号 特願2016-098613
出願日 2016/5/17
出願人 学校法人慶應義塾
公開番号 特開2017-206401
公開日 2017/11/24
発明の名称 シリコン構造体、シリコン構造体の製造装置及びシリコン構造体の製造方法
技術分野 化学・薬品、無機材料、電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 製造装置、製造方法
目的 シリコン微粒子の粒子径や結晶性を安定的に制御可能であり、生成効率に優れたシリコン微粒子を含むシリコン構造体を提供する。
効果 本発明によれば、Si微粒子の粒子径や結晶性を容易に制御可能であり、生成効率に優れたSi構造体、Si構造体の製造装置及びSi構造体の製造方法を提供することができる。
技術概要
サブマイクロメートルオーダの粒子径を有する第1のシリコン微粒子(サブマイクロ粒子)12aを含むサブマイクロ粒子層12と、サブマイクロ粒子層12上に設けられ、第1のシリコン微粒子12aよりも粒子径が小さいナノメートルオーダの第2のシリコン微粒子(ナノ粒子)13aを含むナノ粒子層13とを備える。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 学校法人慶應義塾

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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