| 出願番号 |
特願2016-098613 |
| 出願日 |
2016/5/17 |
| 出願人 |
学校法人慶應義塾 |
| 公開番号 |
特開2017-206401 |
| 公開日 |
2017/11/24 |
| 登録番号 |
特許第6799312号 |
| 特許権者 |
学校法人慶應義塾 |
| 発明の名称 |
シリコン構造体、シリコン構造体の製造装置及びシリコン構造体の製造方法 |
| 技術分野 |
化学・薬品、無機材料、電気・電子 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
製造装置、製造方法 |
| 目的 |
シリコン微粒子の粒子径や結晶性を安定的に制御可能であり、生成効率に優れたシリコン微粒子を含むシリコン構造体を提供する。 |
| 効果 |
本発明によれば、Ｓｉ微粒子の粒子径や結晶性を容易に制御可能であり、生成効率に優れたＳｉ構造体、Ｓｉ構造体の製造装置及びＳｉ構造体の製造方法を提供することができる。 |
技術概要
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サブマイクロメートルオーダの粒子径を有する第１のシリコン微粒子（サブマイクロ粒子）１２ａを含むサブマイクロ粒子層１２と、サブマイクロ粒子層１２上に設けられ、第１のシリコン微粒子１２ａよりも粒子径が小さいナノメートルオーダの第２のシリコン微粒子（ナノ粒子）１３ａを含むナノ粒子層１３とを備える。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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