材料評価装置

開放特許情報番号
L2018000434
開放特許情報登録日
2018/2/28
最新更新日
2019/7/30

基本情報

出願番号 特願2017-192566
出願日 2017/10/2
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2019-067942
公開日 2019/4/25
発明の名称 材料評価装置
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 材料評価装置
目的 プラズマエッチング装置やプラズマCVD装置等で、プラズマに暴露される材料のパーティクル発生性を直接的に評価できる材料評価装置を提供する。
効果 被処理部材から飛散する粒子の個数や状態(粒径、移動履歴等)をリアルタイムで直接検出することができるので、被処理部材のパーティクル発生性をリアルタイムで直接評価することができる。
技術概要
プラズマを生成するプラズマ生成部と、
前記プラズマの上方に配置される被処理部材と、
前記プラズマと前記処理部材との間の空間または前記プラズマ中に光を照射する光照射部と、
前記プラズマによって前記被処理部材から飛散した粒子により散乱される前記光の散乱光を測定する散乱光測定部と、を具備することを特徴とする材料評価装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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