適用製品
ゲルマニウム層をチャネル領域とする半導体装置およびその製造方法
目的
オフ電流に対するオン電流の比を大きくすることが可能な半導体装置およびその製造方法を提供する。
効果
本発明によれば、オフ電流に対するオン電流の比を大きくすることが可能な半導体装置を提供することができる。
技術概要
ゲルマニウム層内に形成された第１導電型を有するチャネル領域と、
前記ゲルマニウム層内に形成され、前記第１導電型と異なる第２導電型を有するソース領域およびドレイン領域と、
を具備し、
前記チャネル領域における酸素濃度は、前記ソース領域およびドレイン領域の少なくとも一方の領域と前記少なくとも一方の領域を囲む前記第１導電型を有する領域との接合界面における酸素濃度より低いことを特徴とする半導体装置。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
