適用製品
ギャップを有する電極対、その作製方法、デバイス用基板及びデバイス
目的
デバイスの性能を精度よく発揮させることができる電極対及びその作製方法と、その電極対を備えたデバイス用基板及びデバイスとを提供する。
効果
ギャップにナノ粒子や分子を配置してデバイスを構成したり、電極対を光伝導アンテナとして用いてデバイスを構成したりすることにより、各デバイスの性能を効率良く実現することができる。
滑らかな表面を有してギャップを保ちながら対向面積を調整して電極対を作製することができる。
技術概要
電極対１０は、一方の電極１０Ａと他方の電極１２Ｂとがギャップ１７を有して向かい合うように同一面上に設けられており、一方の電極１２Ａと他方の電極１２Ｂとの向かい合う部分が、互いに近づくにつれてその面から遠ざかるように湾曲している。この電極対１０は、初期ギャップを有するように間隔をあけて種電極の対が形成された基板をサンプルとして準備し、サンプルを無電解メッキ液に浸漬する際、一定時間経過すると無電解メッキ液を交換し、その交換回数を調整することにより作製される。その結果、一方の電極１２Ａと他方の電極１２Ｂとの隙間を一定に保ちながら、対向する面を縦方向に調整することができる。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
