電極対、その作製方法、デバイス用基板及びデバイス

開放特許情報番号
L2018000322
開放特許情報登録日
2018/2/15
最新更新日
2018/2/15

基本情報

出願番号 特願2015-535332
出願日 2014/3/9
出願人 国立研究開発法人科学技術振興機構
公開番号 WO2015/033600
公開日 2015/3/12
発明の名称 電極対、その作製方法、デバイス用基板及びデバイス
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 ギャップを有する電極対、その作製方法、デバイス用基板及びデバイス
目的 デバイスの性能を精度よく発揮させることができる電極対及びその作製方法と、その電極対を備えたデバイス用基板及びデバイスとを提供する。
効果 ギャップにナノ粒子や分子を配置してデバイスを構成したり、電極対を光伝導アンテナとして用いてデバイスを構成したりすることにより、各デバイスの性能を効率良く実現することができる。
滑らかな表面を有してギャップを保ちながら対向面積を調整して電極対を作製することができる。
技術概要
電極対10は、一方の電極10Aと他方の電極12Bとがギャップ17を有して向かい合うように同一面上に設けられており、一方の電極12Aと他方の電極12Bとの向かい合う部分が、互いに近づくにつれてその面から遠ざかるように湾曲している。この電極対10は、初期ギャップを有するように間隔をあけて種電極の対が形成された基板をサンプルとして準備し、サンプルを無電解メッキ液に浸漬する際、一定時間経過すると無電解メッキ液を交換し、その交換回数を調整することにより作製される。その結果、一方の電極12Aと他方の電極12Bとの隙間を一定に保ちながら、対向する面を縦方向に調整することができる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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