干渉計測装置

開放特許情報番号
L2018000265
開放特許情報登録日
2018/2/8
最新更新日
2018/2/8

基本情報

出願番号 特願2001-572826
出願日 2001/3/28
出願人 国立研究開発法人科学技術振興機構、株式会社日立製作所
公開番号 WO2001/075394
公開日 2001/10/11
登録番号 特許第4164261号
特許権者 国立研究開発法人科学技術振興機構
発明の名称 干渉計測装置
技術分野 情報・通信、電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 干渉計測装置
目的 フレネル回折波による影響を除去する。
効果 波面分割型に属する干渉計測装置における複プリズムの波面分割境界から発生するフレネル回折波あるいは電子線を用いた干渉計測装置におけるフレネル回折波による位相変化を、可干渉ビーム源と複プリズムの間に形成される観察面と等価な面上に、波面分割境界を遮蔽するごとき形状のビーム遮蔽板を設置することにより除去することが可能となる。
試料と干渉縞の相対的な位置関係がずれた2系列の干渉画像(群)からそれぞれ得られた2つの位相分布データから数学的に除去することができる。
技術概要
可干渉ビーム発生源と、被計測試料と、被計測試料像を観察面上に形成するレンズ系と、可干渉ビームを2系統に分割し観察面もしくはそれと等価な面上に干渉画像を形成する波面分割素子と、観察面上の干渉画像を撮像する撮像素子と、該撮像素子により電気信号に変換された干渉画像を取り込み記憶しかつその干渉画像から被計測試料によって変化した位相分布を計算によって求める機能を有する計算装置と、前記可干渉ビーム発生源と前記干渉素子の間の観察面と等価な面上もしくはその近傍に前記干渉素子の波面分割境界を照射するビームを遮蔽するごときビーム遮蔽板を有することを特徴とする干渉計測装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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