細孔配列構造体の製造方法、細孔配列構造体の前駆体及び細孔配列構造体の製造装置

開放特許情報番号
L2018000215
開放特許情報登録日
2018/1/30
最新更新日
2018/1/30

基本情報

出願番号 特願2016-041628
出願日 2016/3/3
出願人 公立大学法人首都大学東京
公開番号 特開2017-157761
公開日 2017/9/7
発明の名称 細孔配列構造体の製造方法、細孔配列構造体の前駆体及び細孔配列構造体の製造装置
技術分野 電気・電子、機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 細孔配列構造体製造方法、及び該細孔配列構造体の前駆体、ならびに製造装置
目的 高精細に細孔が配列された細孔配列構造体を、高スループットをもって製造することができる、製造方法、及び該細孔配列構造体の前駆体、ならびに製造装置を提供する。
効果 本発明の細孔配列構造体の製造方法によれば、高精細に細孔が配列された細孔配列構造体を、高スループットをもって製造することができる。
また、本発明の細孔配列構造体の前駆体は、所望の細孔配列構造体を正確に且つ簡易簡便に得ることができるものである。
本発明の細孔配列構造体の製造装置は、所望の細孔配列構造体を正確に且つ簡易簡便に得ることができるものである。
技術概要
金属薄膜の表面に所定パターンで多数の有底細孔を形成してなる細孔配列構造体の製造方法であって、
金属薄膜連続体を引き出す引き出し工程と、
引き出された金属薄膜連続体に所定のパターンで金属薄膜の表面を保護する保護剤層を形成する保護剤を所定のパターンで塗工する塗工工程と
保護剤層の形成された金属薄膜連続体を巻き取る巻き取り工程とを具備し、
上記塗工工程は、上記保護剤を供給する保護剤供給ローラーと該保護剤供給ローラーに接触し、該保護剤供給ローラーから保護剤の供給を受けて、供給された該保護剤を所定のパターンで上記金属薄膜連続体に転写する転写ローラーとを用いて行う
ことを特徴とする細孔配列構造体の製造方法。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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