形状測定装置

開放特許情報番号
L2018000197
開放特許情報登録日
2018/1/29
最新更新日
2018/1/29

基本情報

出願番号 特願2010-265143
出願日 2010/11/29
出願人 兵庫県
公開番号 特開2012-117830
公開日 2012/6/21
登録番号 特許第5683236号
特許権者 兵庫県
発明の名称 形状測定装置
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 形状測定装置
目的 高い精度で、微細加工処理が施された基板上のパタン形状ならびに欠陥を測定することが可能な形状測定装置を提供する。
効果 既知のパタンを測定することにより、像再生において非常に重要な情報である照明形状を実験的に導出するので、高い精度で、微細加工処理が施された基板上のパタン形状ならび欠陥を測定することができる。
技術概要
反射型サンプル基板上の被検パタン領域に対し、空間領域及び/又は時間領域でのコヒーレントな光を、照射位置をシフトさせながら複数回照射する照射手段と、
上記照射手段により照射された上記被検パタン領域からの回折光を受光する受光手段と、
上記受光手段による受光結果である画像情報を記録する記録手段と、
形状が既知で所定幅のパタンを上記所定幅の半分のステップで格子状等間隔に点在する領域毎に測定し、上記パタンに対応する照明形状を、上記記録手段に記録された上記画像情報から、実験的に導出する導出手段と、
上記記録手段に記録された上記画像情報から、上記導出手段により導出された上記照明形状を用いて、パタン形状ならびに欠陥を抽出する演算手段と、を備え、
上記演算手段は、上記記録手段に記録された二次元の複数枚の回折強度情報に対してフーリエ変換と逆フーリエ変換による周波数変換を繰り返す処理により回折光の位相を回復して像再生するとともに、上記抽出されたパタン形状ならびに欠陥に現れる周期パタン成分をフィルタリングして出力する形状測定装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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