X線分析装置

開放特許情報番号
L2018000194
開放特許情報登録日
2018/1/29
最新更新日
2018/1/29

基本情報

出願番号 特願2009-104744
出願日 2009/4/23
出願人 公立大学法人兵庫県立大学
公開番号 特開2010-256103
公開日 2010/11/11
登録番号 特許第5407075号
特許権者 公立大学法人兵庫県立大学
発明の名称 X線分析装置
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 X線分析装置
目的 容易に、短時間で、回転ステージの回転軸とX線マイクロビームとの位置合わせの調整を行うことができ、試料や試料の所望位置に、X線を、短時間で精度良く照射させることができるX線分析装置を提供する。
効果 容易に、短時間で、回転ステージの回転軸とX線マイクロビームとの位置合わせの調整を行うことができる。また、試料や試料の所望位置にX線を短時間で精度良く照射させることができる。
技術概要
X線源から発せられるX線ビームを整形しX線マイクロビームを形成する集光装置と、
前記集光装置で形成されたX線マイクロビームが照射される試料における微小照射点を含む前記試料表面を拡大観察する顕微鏡型レンズを有する観察用カメラと、
前記微小照射点から発生した信号X線を検出するX線検出器と、
前記試料を搭載しており、前記試料の回折角度の設定および走査を行う回転ステージと、
前記回転ステージの上に載置され且つ前記試料が載置されており、前記試料の位置を調整する第1並進駆動ステージと、
前記回転ステージが載置されており、前記回転ステージの位置を調整する第2並進駆動ステージと、
前記観察用カメラを搭載しており、前記観察用カメラの位置を調整する第1位置調整装置と、
前記X線検出器を搭載しており、前記X線検出器の位置を調整する第2位置調整装置とを備えたX線分析装置であり、
前記X線分析装置は、測定用試料の仮試料である基板をさらに備えており、
前記基板は、前記基板の平面に前記微小照射点が位置するように配置されており、且つ、前記基板の平面上に、前記基板の密度と異なる密度を有した微細な線模様を有していることを特徴とするX線分析装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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