高周波プローブ位置補正技術

開放特許情報番号
L2018000173
開放特許情報登録日
2018/1/29
最新更新日
2021/4/20

基本情報

出願番号 特願2019-541027
出願日 2018/9/7
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 WO2019/050001
公開日 2019/3/14
登録番号 特許第6858380号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 プローブの角度を決定する方法、高周波特性検査装置、プログラム及び記憶媒体
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 プローブの角度を決定する方法、高周波特性検査装置、プログラム及び記憶媒体
目的 電気信号センシングによってプローブ角度を調整する手段を提供する。
効果 高周波特性検査装置において、正しいプローブの傾きを高精度に決定することができる。
技術概要
制御部と、
前記制御部により制御されるベクトルネットワークアナライザと、
被試験装置が載置される平坦な載置面を有するステージと、
前記シグナル端子の先端及び前記グランド端子の先端と前記被試験装置との接触状態を、回転軸を中心として回転することにより変更可能なプローブと、
前記制御部により制御され、前記プローブを前記回転軸の周りに回転させる駆動部と、
を備える高周波特性検査装置において、前記プローブの前記回転軸の周りの基準角度を決定する方法であって、
前記シグナル端子の先端及び前記グランド端子の先端と、前記ステージの前記載置面上に載置された平坦な導電体面を有する基板の前記導電体面との接触状態を変化させながら、前記ベクトルネットワークアナライザを制御して、前記プローブの前記回転軸周りの異なる角度において、前記シグナル端子から高周波信号を前記導電体面に出力し且つ前記プローブを用いて反射信号を受信してSパラメータを求めることと、
前記シグナル端子の先端と前記グランド端子の先端とを結んで形成される基準線と前記導電体面とが平行となる前記プローブの前記回転軸周りの前記基準角度を決定すること、
を含む方法。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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