磁界プローバ及び磁界印加方法

開放特許情報番号
L2017002295
開放特許情報登録日
2017/12/15
最新更新日
2017/12/15

基本情報

出願番号 特願2009-204692
出願日 2009/9/4
出願人 株式会社フジクラ
公開番号 特開2011-053183
公開日 2011/3/17
登録番号 特許第5427522号
特許権者 株式会社フジクラ
発明の名称 磁界プローバ及び磁界印加方法
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 磁界プローバ
目的 本発明は、磁性体デバイスに均一に磁界を印加することができ、磁性体部分の面積が大きい磁性体デバイスを測定する際にも、所望の磁界を確実に精度良く印加させることが可能な、測定精度が高い磁界プローバを提供することを第一の目的とする。
また、本発明は、磁性体デバイスの狭い範囲に対して確実に所望の磁界を印加することができ、精度の高い特性を得ることができる磁界印加方法を提供することを第二の目的とする。
効果 磁性体部分の面積が大きい磁性体デバイスを測定する際に、所望の磁界を確実に精度良く印加させることが可能となり、その結果、本発明では測定精度が高い磁界プローバの提供に寄与する。また、本発明の磁界印加方法では、磁界印加手段、プローバ、プローブカード間の位置決め精度を考慮することなく磁界の印加を行うことが可能となる。これにより、磁界印加装置からの磁界を磁性体デバイスに対して精度良く印加させることができる。その結果、本発明では、精度の高い特性を得ることができる磁界印加方法を提供することができる。
技術概要
 
本発明の磁界プローバでは、被測定物を載置するステージ内部に磁界印加手段である複数のコイルを内在させたことにより、磁界印加手段と被測定物の距離を短くすることができるため、小型のコイルを用いても磁界を印加でき、さらに、狭い範囲に精度良く均一磁界を印加することが可能となる。これにより、磁性体部分の面積が大きい磁性体デバイスを測定する際にも、所望の磁界を確実に精度良く印加させることが可能となり、その結果、本発明では測定精度が高い磁界プローバの提供に寄与する。また、本発明の磁界印加方法では、磁界印加手段である複数の独立したコイルに通電する電流値を制御して被測定物に任意の方向の磁界を精度良く印加することができるため、磁界印加手段、プローバ、プローブカード間の位置決め精度を考慮することなく磁界の印加を行うことが可能となる。これにより、磁界印加装置からの磁界を磁性体デバイスに対して精度良く印加させることができる。その結果、本発明では、精度の高い特性を得ることができる磁界印加方法を提供することができる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】
実施権条件 要相談

登録者情報

登録者名称 株式会社フジクラ

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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