高周波プローブ位置補正技術

基本情報

出願番号	特願2017-163566
出願日	2017/8/28
出願人	国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号	特開2019-039869
公開日	2019/3/14
登録番号	特許第7028430号
特許権者	国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称	高周波プローブ位置補正技術
技術分野	情報・通信
機能	制御・ソフトウェア
適用製品	プローブ及び試料ステージの回転軸補正
目的	電気信号センシングによってθ軸の調整・補正する手段を提供する。
効果	顕微鏡の解像度や人の作業能力に依存しないことで顕微鏡的手法よりも高精度なθ軸の補正ができる。
技術概要	ＶＮＡと接続され、周波数拡張ユニットに保持されたプローブが接地し得る水平な回転ステージを備えた高周波特性検査装置において、前記回転ステージの上に載置された基板のＸ軸と前記回転ステージの固定されたＸ軸のオフセットを解消する方法であることを特徴とする。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者名称	国立研究開発法人産業技術総合研究所