走査型プローブ顕微鏡のドリフト補正方法及びドリフト補正機能を備えた走査型プローブ顕微鏡

開放特許情報番号
L2017002231
開放特許情報登録日
2017/12/12
最新更新日
2019/4/25

基本情報

出願番号 特願2017-154999
出願日 2017/8/10
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2019-032290
公開日 2019/2/28
発明の名称 走査型プローブ顕微鏡のドリフト補正方法及びドリフト補正機能を備えた走査型プローブ顕微鏡
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 走査型プローブ顕微鏡
目的 計測中に発生したドリフトを高精度に補正することで、計測寸法が微小な半導体デバイスに対しても、高精度な形状計測を実現すること。
効果 得られた参照形状計測結果と以前に得られた参照形状計測走査とを比較することで、両者間の時間経過に基づく、高さ方向と主走査方向の二軸方向のドリフト量を正確に演算することができ、このドリフト量に基づき今回得られた計測結果を補正することで、微小な半導体デバイスであっても、所要の計測精度を実現することが可能となる。
技術概要
プローブを走査して試料表面の形状計測を行う走査型プローブ顕微鏡のドリフト補正方法であって、
試料表面上の走査ラインに沿ってプローブを走査することにより、当該走査ラインに沿った形状計測を行うとともに、前記プローブを移動させ、次の走査ラインに沿って前記プローブを走査して形状計測を繰り返す第1の工程と、
前記第1の工程において特定の走査ラインに沿った形状計測終了後に、試料表面に対し予め設定した参照形状計測用走査ラインに沿って前記プローブを走査させ、当該走査ラインに沿った参照形状を計測する第2の工程と、
前記第2の工程による今回の参照形状計測結果と、以前に計測した参照形状計測結果を対比することで、両者間の時間経過により発生したドリフト量を演算する第3の工程と、
前記第3の工程で演算されたドリフト量に基づいて、前記第1の工程で得られた今回の形状計測結果を補正する第4の工程とからなる走査型プローブ顕微鏡のドリフト補正方法。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2019 INPIT