パターン構造体形成用スタンパ及びその製造方法並びにパターン構造体の製造方法

開放特許情報番号
L2017001664
開放特許情報登録日
2017/10/6
最新更新日
2019/3/29

基本情報

出願番号 特願2017-127907
出願日 2017/6/29
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2019-010776
公開日 2019/1/24
発明の名称 パターン構造体形成用スタンパ及びその製造方法並びにパターン構造体の製造方法
技術分野 機械・加工、電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 パターン形成用スタンパ及びその製造方法、並びに前記スタンパを用いてパターン構造体を製造する方法
目的 スタンパ表面への凹凸構造形成工程と凸形状への液体インクの塗布工程を要さず、スタンパ表面に直接転写ターゲット原料からなる凸部パターンを作製することを可能とする、パターン構造体形成用のスタンパ及びその製造方法並びにパターン構造体の製造方法を提供する。
複数物質の一括転写を可能とする、パターン構造体形成用のスタンパ及びその製造方法並びにパターン構造体の製造方法を提供する。
効果 転写時に溶剤を含むインクを用いないので、従来のようなインクを付けるスタンパの凸部の溶剤による膨潤や被転写基材表面でのインクの滲みが生じない。よって、本発明によれば、高精細な微細パターンを有するパターン構造体を実現できる。
技術概要
パターン構造体形成用のスタンパであって、
透明基材と、該透明基材上の透明樹脂層と、該透明樹脂層上の凸部パターンとを備え、
前記凸部パターンは、前記パターン構造体のパターンを構成する原料の単一又は複数の種類の無機物を含むことを特徴とするスタンパ。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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