微細加工方法および微細加工装置

開放特許情報番号
L2017001558
開放特許情報登録日
2017/9/29
最新更新日
2017/9/29

基本情報

出願番号 特願2007-269947
出願日 2007/10/17
出願人 株式会社ミツトヨ
公開番号 特開2009-095931
公開日 2009/5/7
登録番号 特許第5027611号
特許権者 株式会社ミツトヨ
発明の名称 微細加工方法および微細加工装置
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 測定子の微細加工に適する微細加工方法および微細加工装置
目的 加工中の被加工物の加工状況を観察できるようにした微細加工方法および微細加工装置を提供すること。
効果 被加工物の加工状況を最も確認しやすい位置に撮像手段が配置されているから、被加工物の加工状況を確認しながら、微細スタイラスも加工できる。
放電加工部位を中心としてその周囲に厚みが略均一な加工液膜が形成される。すると、その膜内に放電加工部が浸され、かつ、撮像手段側の面がフラットな面となるため、加工液で浸された放電加工部位を、撮像手段によって鮮明に観察できる。
測定機などに用いられる測定子の微細加工に好適に利用できる。
技術概要
微細加工電極と被加工物の表面との間で放電させ、被加工物を微細加工する微細加工方法において、前記微細加工電極と被加工物との放電加工部位を観察可能な位置に撮像手段を配置し、前記放電加工部位近傍に加工液を供給し、前記加工液を前記放電加工部位で略均一な厚みを有する加工液膜状に形成し、この加工液膜の厚み方向から前記撮像手段によって被加工物の加工状況を観察して、被加工物を微細加工する、ことを特徴とする微細加工方法。
実施実績 【有】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】
実施権条件 <1>競合他社(製品)へのライセンスは原則行わない
<2>技術指導は原則行わない

登録者情報

登録者名称 株式会社ミツトヨ

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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