光学式エンコーダ

開放特許情報番号
L2017001553
開放特許情報登録日
2017/9/29
最新更新日
2017/9/29

基本情報

出願番号 特願2001-029594
出願日 2001/2/6
出願人 株式会社ミツトヨ
公開番号 特開2002-228490
公開日 2002/8/14
登録番号 特許第4331899号
特許権者 株式会社ミツトヨ
発明の名称 光学式エンコーダ
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 光学式エンコーダ
目的 高精度のアライメントが可能であり、従って微小変位の高精度測定が可能である光学式エンコーダを提供する。
効果 スケール格子と受光側インデックス格子、更に必要なら光源側インデックス格子が、一枚のスケール用基板をリソグラフィとエッチングを基本として加工して一体形成される。従って、各光学格子のアライメントはリソグラフィにより決まり、従来のようなエンコーダ組立時のアライメント調整が不要であり、微小変位を高精度に測定できる小型エンコーダが得られる。
技術概要
基板と、
この基板上に板バネにより浮いた状態に保持されて基板と平行な測定軸方向に移動可能に配置されたスケール格子と、
このスケール格子に光を照射するための光源と、
前記スケール格子で強度変調された光から所定周波数成分を抽出するための前記基板上に形成された受光側インデックス格子と、
前記受光側インデックス格子で抽出された光を検出するための前記基板上に形成された受光素子とを備え、
前記基板とこの上に形成される前記板バネ、スケール格子及び受光側インデックス格子とは、スケール用基板のリソグラフィとエッチングにより一体に形成されている
ことを特徴とする光学式エンコーダ。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】
実施権条件 <1>競合他社(製品)へのライセンスは原則行わない
<2>技術指導は原則行わない

登録者情報

登録者名称 株式会社ミツトヨ

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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