2点間寸法調整装置、自律制御端度器、自律長さ維持構造体、および、それらの絶対値再現方法

開放特許情報番号
L2017001549
開放特許情報登録日
2017/9/29
最新更新日
2017/9/29

基本情報

出願番号 特願2002-351427
出願日 2002/12/3
出願人 株式会社ミツトヨ
公開番号 特開2004-184226
公開日 2004/7/2
登録番号 特許第4248229号
特許権者 株式会社ミツトヨ
発明の名称 2点間寸法調整装置、自律制御端度器、自律長さ維持構造体、および、それらの絶対値再現方法
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 2点間寸法調整装置、自律制御端度器、自律長さ維持構造体、および、それらの絶対値再現方法
目的 2点間の高精度な絶対値の再現が容易な2点間寸法調整装置、自律制御端度器、自律長さ維持構造体、および、それらの絶対値再現方法を提供する。
効果 適宜位相変調したレーザ光の参照光と、対向する一対の反射面間で反射して反射面間の寸法に対応して位相がずれた測定光との干渉による検出信号と、レーザ光を参照光として位相変調させる参照信号との位相差を所定の位相差にする位相補正値により、干渉による検出範囲となるように参照光が適宜位相変調され、検出範囲を超える反射面間の寸法を測定しつつ反射面間が所定の寸法に可変設定でき、2点間の高精度な寸法設定の範囲が拡大し、利便性および汎用性を向上できる。
技術概要
所定の間隙を介して対向しレーザ光を反射可能な一対の反射面を有しこれら反射面間の寸法測定の前記レーザ光の光路中に設けられたレーザ干渉測長手段と、
これら反射面間の寸法を可変する移動手段と、
前記レーザ干渉測長手段で測定する前記反射面間の寸法測定の結果に基づいて前記移動手段を適宜駆動させ前記反射面間の寸法を制御する制御手段とを具備し、
前記制御手段は、前記レーザ光が適宜位相変調されて生成された参照光と、前記レーザ光が反射面間で反射されて前記反射面間の寸法に対応して位相がずれた測定光との干渉により得られる検出信号と、この検出信号と前記参照光を位相変調させる参照信号との位相差を所定の位相差にする位相補正値を生成し、この位相補正値により前記レーザ光が参照光として変調される位相を補正するとともに、前記位相補正値の累積が所定の値となる前記反射面間の寸法に前記移動手段を駆動させる
ことを特徴とした2点間寸法調整装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】
実施権条件 <1>競合他社(製品)へのライセンスは原則行わない
<2>技術指導は原則行わない

登録者情報

登録者名称 株式会社ミツトヨ

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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