出願番号 |
特願2004-078886 |
出願日 |
2004/3/18 |
出願人 |
株式会社ミツトヨ |
公開番号 |
特開2005-265616 |
公開日 |
2005/9/29 |
登録番号 |
特許第4133884号 |
特許権者 |
株式会社ミツトヨ |
発明の名称 |
光学的変位測定器 |
技術分野 |
情報・通信 |
機能 |
機械・部品の製造 |
適用製品 |
光学的変位測定器 |
目的 |
光学的な変位測定において、新しい方法により、使いやすい光学的変位測定器を提供する。 |
効果 |
本発明に係る光学的変位測定器によれば、新しい方法により、対象物の変位測定に使いやすいものとなる。 |
技術概要
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光源からの光を、対物レンズを含む光学系を介して対象物に入射し、対象物からの反射光を検出部で検出して対物レンズと対象物との間の変位を測定する光学的変位測定器において、
対物レンズは、対象物に光を入射し、対象物からの反射光を再び受けて検出部に導く円錐形状のレンズであって、検出部における検出像の形状が対物レンズと対象物との間の変位に応じて変化することに基づいて対物レンズと対象物との間の変位を測定することを特徴とする光学的変位測定器。 |
実施実績 |
【試作】 |
許諾実績 |
【無】 |
特許権譲渡 |
【否】
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特許権実施許諾 |
【可】
実施権条件 |
<1>競合他社(製品)へのライセンスは原則行わない
<2>技術指導は原則行わない |
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