厚み測定装置

基本情報

出願番号	特願2015-239239
出願日	2015/12/8
出願人	国立大学法人静岡大学
公開番号	特開2017-106768
公開日	2017/6/15
発明の名称	厚み測定装置
技術分野	情報・通信
機能	機械・部品の製造
適用製品	厚み測定装置
目的	被測定物に対して非接触としつつ、分解能を向上させることができる厚み測定装置を提供する。
効果	被測定物に対して非接触としつつ、分解能を向上させることができる厚み測定装置を提供することができる。
技術概要	互いに離間して対向する一対のミラーを有する共振器と、前記共振器に入射する光を照射する光源と、前記共振器から共振により出力される出力光の透過スペクトル又は反射スペクトルを、所定波長範囲において測定する測定部と、前記透過スペクトル又は前記反射スペクトルからピーク波長に対応する値の実測値を検出し、前記実測値に基づいて、前記一対のミラーの間に配置された被測定物の厚みを判定する演算部と、を備える厚み測定装置。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者名称	国立大学法人静岡大学