位相シフトデジタルホログラフィ装置及びそのプログラム

開放特許情報番号
L2017001323
開放特許情報登録日
2017/8/28
最新更新日
2019/2/27

基本情報

出願番号 特願2017-108182
出願日 2017/5/31
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2018-205430
公開日 2018/12/27
発明の名称 位相シフトデジタルホログラフィ装置及びそのプログラム
技術分野 情報・通信
機能 制御・ソフトウェア
適用製品 位相シフトデジタルホログラフィ装置の干渉縞画像
目的 位相シフト装置を利用して、ナノオーダーの精度で参照光の光路長を光軸に沿って移動させることにより、複数の位相シフトされた干渉縞画像を記録する。
効果 ピエゾ素子など位相シフト装置の動作精度の低さに起因する参照光の位相ずれ量を検出でき、高精度な3次元形状・変位計測が可能になる。
技術概要
光源からの出射光(以下、光源光とよぶ)と前記光源光の位相に所定の位相シフト量を設定した位相シフト装置からの参照光との干渉光1を、前記所定の位相シフト量を変化させて複数回撮影した干渉縞画像1(複数回は1回からn回、nは3以上の自然数)から前記参照光の位相を解析する位相シフトデジタルホログラフィの方法であって、
前記参照光に設定された前記所定の位相シフト量を前記干渉縞画像1の解析から得た位相のずれ量で補正したことを特徴とする方法。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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