| 出願番号 |
特願2017-043323 |
| 出願日 |
2017/3/7 |
| 出願人 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
特開2018-146455 |
| 公開日 |
2018/9/20 |
| 発明の名称 |
ＲＦデバイスの不具合解析法および等価回路 |
| 技術分野 |
情報・通信 |
| 機能 |
制御・ソフトウェア |
| 適用製品 |
ＲＦデバイスの不具合を解析するための解析法および等価回路 |
| 目的 |
試験器を破壊せず、分解せずにその欠陥の種類と場所を知る新しい検査手法を提供すること。 |
| 効果 |
本手法は非破壊（分解せず）に実施できるため、不具合解析のコストを削減できる。
本手法は、SHORT、THRU基準器及び1mm同軸アダプタで説明したが、他の基準器、構成にも適宜拡張適用が可能である。 |
技術概要
 |
VNAとその１個のポートとそれに接続された周波数拡張器とそれに繋がるケーブルとそのケーブルに接続された接触部とその接触部がその表面に接触して高周波を発射してその反射波S↓11を測定する試料とで構成される１ポート評価システムを表す等価回路であって、周波数拡張器を表すリアクタンス回路Rと、前記接触部とケーブルを表す結合容量Cprobe,cableと、前記接触部が接触する試料の表面を表すインダクタLshortの両端に接触抵抗Rcontと寄生容量Ccontの並列回路を直列に接続した表面回路Sと、１端が接地された交流電源の他端に接続されたVNAの高周波出力C↓1とで構成され、周波数拡張器Rと結合容量Cprobe,cableと表面回路SとVNAの高周波出力C↓1とが順に並列に結合されており、表面回路Sの接触抵抗Rcontの変化により計算される当該等価回路のインピーダンスの共振ピーク周波数が測定され、該１ポート評価システムで測定したS↓11パラメータのピーク周波数が略等しい時の当該接触抵抗Rcontの値を該１ポート評価システムの接触抵抗推定値とする等価回路による解析を特徴とする１ポート評価システム。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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