近接場分光装置

開放特許情報番号
L2017001029
開放特許情報登録日
2017/7/5
最新更新日
2017/7/5

基本情報

出願番号 特願2015-184145
出願日 2015/9/17
出願人 学校法人早稲田大学
公開番号 特開2017-058281
公開日 2017/3/23
発明の名称 近接場分光装置
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 近接場分光装置
目的 分光測定に有用な分光情報を精度良く得ることができる近接場分光装置を提供する。
効果 複数波長成分を含む測定光によってプローブの先端に近接場光を発生させ、この近接場光が測定点で反射された反射光を分光しているので、微細な構造における測定点の特性を各波長で知ることができ、しかも同時に各波長について測定するので効率的な分光測定ができる。さらに、位相をずらした各測定距離で測定して得られる分光された検出光の光強度を用いて、波長ごとの反射光の光強度を算出するから、高い精度の光強度を算出できる。
技術概要
複数の波長成分を含む測定光を出力する光源部と、前記測定光の導入により先端に近接場光を発生させ、先端を試料の表面の測定点に近接することにより近接場光が測定点で反射された反射光を採取するプローブと、前記プローブの先端と前記試料との相対的な移動によって前記反射光を採取する測定点を移動する走査部と、前記プローブの先端と前記反射光を採取する測定点との間の相対距離を増減し、前記相対距離の増減を単振動とみなして、前記相対距離を所定角度ずつ位相がずれた3以上の測定距離に順次に設定する測定距離設定部と、前記測定距離ごとに前記プローブからの前記反射光を含む検出光を分光し、前記検出光の各波長の光強度を出力する分光検出部と、各々の測定点の各波長について、前記測定距離ごとに得られる前記検出光の同じ波長の光強度に基づいて、前記反射光の当該波長の光強度をそれぞれ算出する分光演算部とを備えることを特徴とする近接場分光装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

アピール内容 本件は、『早稲田大学技術シーズ集(問合NO.1737)』に掲載されている案件です。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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