微粒子付着放電電極を用いた放電加工方法及び放電加工装置

開放特許情報番号
L2017000998
開放特許情報登録日
2017/6/28
最新更新日
2017/6/28

基本情報

出願番号 特願2015-053318
出願日 2015/3/17
出願人 国立大学法人九州工業大学
公開番号 特開2016-172299
公開日 2016/9/29
発明の名称 微粒子付着放電電極を用いた放電加工方法及び放電加工装置
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 放電加工方法及び放電加工装置
目的 微粒子を放電電極に付着することにより、放電開始電圧を低下させて、放電電極の微小化を実現して、低出力での微細レベルの加工を行う。
効果 微細レベルの加工寸法を高アスペクトで実現することができる。放電加工プロセスでは比較的に高電圧(例えば、300V〜3000V)を維持して材料除去量を向上させることも可能である。小型の工作機械でも簡便に微細かつ3次元の複雑形状を加工することができる。低コストかつ大量にMEMS素子が供給可能となる。横方向の壁面などの加工が可能となる。半導体レベルまで微細プロセスなパターン形成が可能なため、より高精度な3次元積層物に仕上げ加工が可能となる。
技術概要
本発明の放電加工装置は、電圧印加した際には電荷を帯びるのに十分な導電性を有する微粒子を、放電電極の先端部近辺に供給するための微粒子供給手段と、先端部近辺に供給された微粒子を放電電極の先端部に付着させる微粒子付着手段とを備える。この放電電極に放電加工電圧を供給して、放電電極の先端部に付着した微粒子に電荷を帯びさせて、この電荷を帯びた微粒子を利用しつつ、被加工物を放電加工する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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