膜厚および膜密度決定方法、ならびにそのためのプログラム

開放特許情報番号
L2017000938
開放特許情報登録日
2017/6/21
最新更新日
2017/6/21

基本情報

出願番号 特願2013-002121
出願日 2013/1/9
出願人 日本放送協会
公開番号 特開2014-134441
公開日 2014/7/24
登録番号 特許第6031359号
特許権者 日本放送協会
発明の名称 膜厚および膜密度決定方法、ならびにそのためのプログラム
技術分野 情報・通信
機能 制御・ソフトウェア
適用製品 膜厚および膜密度決定方法、ならびにそのためのプログラム
目的 測定データにフィッティングするための複雑なシミュレーションソフトを必要とせずに膜厚および膜密度を決定することができる膜厚および膜密度決定方法、ならびにそのためのプログラムを提供する。
効果 本発明によれば、測定データにフィッティングするための複雑なシミュレーションソフトを必要とせずに膜厚および膜密度を決定することができる。
技術概要
基板上に製膜されている薄膜について測定されたX線回折強度の複数のピークのピーク角度の測定値に基づいて、前記薄膜の膜厚および膜密度を決定する膜厚および膜密度決定方法であって、膜厚および密度依存量を未知数とする2元連立方程式をたてて膜厚および密度依存量を算出する膜理論値算出ステップと、当該ピークに対するピーク角度の計算値をそれぞれ求めるピーク角度計算値算出ステップと、前記計算対象とする各ピークについて、前記ピーク角度の測定値と前記ピーク角度の計算値との差分の2乗平均を求める2乗平均算出ステップと、前記ピーク次数の異なる組を設定した上で前記膜理論値算出ステップを繰り返し、当該繰り返しにより複数回算出した前記2乗平均のうち値が最小になるときに設定されているピーク次数の組と、当該ピーク次数の組にて求められた膜厚および密度依存量とを採用し、前記測定された薄膜の膜厚および膜密度として決定する決定ステップと、を有することを特徴とする膜厚および膜密度決定方法。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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