磁性細線搭載基板の製造方法

開放特許情報番号
L2017000751
開放特許情報登録日
2017/5/17
最新更新日
2017/5/17

基本情報

出願番号 特願2012-116023
出願日 2012/5/21
出願人 日本放送協会
公開番号 特開2013-242940
公開日 2013/12/5
登録番号 特許第6010344号
特許権者 日本放送協会
発明の名称 磁性細線搭載基板の製造方法
技術分野 情報・通信
機能 制御・ソフトウェア
適用製品 磁性細線搭載基板の製造方法
目的 磁性細線で記録媒体のトラックや空間光変調器の画素が形成され、誤動作し難い磁性細線搭載基板について、微細化を可能とする製造方法を提供する。
効果 磁性細線に形状や飽和磁化の変化した狭小な領域が精度よく形成されて、かかる領域に磁壁が適度にかつ安定して係止して、磁性細線へのパルス電流の供給により正確に磁区の位置を制御することができ、ビット長や画素が微細化されても誤動作し難い磁気記録媒体や空間光変調器を、容易にかつ生産性よく製造することができる。
技術概要
磁性細線搭載基板10の製造方法は、基板2上に複数の磁性細線1を形成する磁性細線形成工程と、複数の磁性細線1上に樹脂膜9を設け、ナノインプリント法により、樹脂膜9の表面にすべての磁性細線1の直上にわたって細線幅方向に延びた溝部9cを形成するマスク形成工程と、樹脂膜9をマスクとしてエッチングすることにより、それぞれの磁性細線1に樹脂膜9の溝部9cの直下に凹部1cを形成する磁性細線表面エッチング工程と、を行う。磁性細線1における磁区のシフト移動の際に、磁区を区切る磁壁を係止するための凹部1cが、高い寸法精度で形成されるので、動作が安定する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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