磁気光学カー効果顕微鏡

開放特許情報番号
L2017000651
開放特許情報登録日
2017/4/27
最新更新日
2018/9/26

基本情報

出願番号 特願2017-006656
出願日 2017/1/18
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2018-116136
公開日 2018/7/26
発明の名称 磁気光学カー効果顕微鏡
技術分野 情報・通信
機能 材料・素材の製造、検査・検出
適用製品 磁性体の磁区を観察するための磁気光学カー効果顕微鏡
目的 偏斜照明を用いることに由来する分解能の低下を抑制した、及びまたは対物レンズにおける偏光回転による消光比の低下を抑制した磁気光学カー効果顕微鏡を提供すること。
効果 本発明はこれらの実施形態に限られるものではない。さらに、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で当業者の知識に基づき種々なる改良、修正、変形を加えた態様で実施できる。
技術概要
対物レンズと、
直線偏光の照明光を前記対物レンズを通して試料に斜めに入射させる照明光学系であって、前記照明光を前記対物レンズの軸を中心として回転対称となるn方向(nは8以上の4の倍数)から入射させることができる、照明光学系と、
前記照明光が前記試料によって反射されることによって生ずる反射光が、再び前記対物レンズを通過した後に入射される検光子と、
前記検光子を通過した前記反射光を受けて、前記試料の磁化状態を反映した前記n方向からの前記照明光の入射に対応したn枚の画像を出力する撮像装置と、
前記n枚の画像を演算処理することにより、前記試料の磁化方向の試料面に平行な2方向の成分を表す第1画像および第2画像、ならびに前記試料面に垂直な1方向の成分を表す第3画像を生成する演算装置と、を備える磁気光学カー効果顕微鏡。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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