表面検査装置、表面検査方法、表面検査プログラムおよび記録媒体

開放特許情報番号
L2017000489
開放特許情報登録日
2017/4/3
最新更新日
2018/8/31

基本情報

出願番号 特願2016-234464
出願日 2016/12/1
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2018-091692
公開日 2018/6/14
発明の名称 表面検査装置、表面検査方法、表面検査プログラムおよび記録媒体
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 表面検査装置および表面検査方法、表面検査プログラム並びに記録媒体
目的 球体も含む自由曲面を有する被検査体の検査に適し、中心等に生じやすい暗点部が発生しない均質照射が可能な表面検査装置および方法を提供する。
球体の表面の反射・散乱光の観察像のみでは判断しにくいような欠陥を検出することができる表面検査装置および方法を提供する。
効果 本発明の表面検査装置および表面検査方法は球体も含む自由曲面を有する被検査体の検査に適し、これによって被検査体の中心等に生じやすい暗点部が発生しない均質照射を行った撮像が可能となる。
技術概要
被検査体を内包することができ開口部を有する中空状の拡散部と、
前記拡散部の外から前記拡散部に向けて光を照射する第一の照明部と、
前記被検査体から前記開口部の開口方向に散乱される光の光軸と傾斜する角度で設けられたビームスプリッタと、
前記被検査体から前記開口方向に散乱されビームスプリッタに入射した光が前記ビームスプリッタにより反射する方向に設けられた拡散板と、
前記被検査体から前記開口方向に散乱され前記ビームスプリッタを透過した光を検出する撮像部とを有する表面検査装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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