移動ステージシステム及び加工トルクの計測方法

開放特許情報番号
L2017000477
開放特許情報登録日
2017/3/28
最新更新日
2017/3/28

基本情報

出願番号 特願2011-199854
出願日 2011/9/13
出願人 学校法人慶應義塾
公開番号 特開2013-061243
公開日 2013/4/4
登録番号 特許第5806891号
特許権者 学校法人慶應義塾
発明の名称 移動ステージシステム及び加工トルクの計測方法
技術分野 情報・通信
機能 制御・ソフトウェア
適用製品 複数の可動部に固定されたステージを備える、移動ステージシステム
目的 トルクセンサ等の外部センサを用いずに、被加工物に作用する加工トルクを推定できる、移動ステージシステムの提供。
効果 本発明によれば、トルクセンサ等の外部センサを用いずに、被加工物に作用する加工トルクを推定できる。
技術概要
Y方向にそれぞれ移動可能であり且つY方向に直角なX方向に離して配置された2つの可動部71,72を有する駆動部と、可動部71,72に固定されたステージ70と、可動部71,72の位置を検出する検出部75,76と、検出部75,76によって検出された位置をフィードバックし、可動部71,72の位置を指令する指令信号に従って可動部71,72の位置を制御する制御部と、検出部75,76によって検出された可動部71,72個々の位置と該個々の位置に作用する外力成分F1,F2とに基づいて、ステージ70上の被加工物に作用する加工トルクを推定する推定部とを備えることを特徴とする、移動ステージシステム。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 学校法人慶應義塾

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【無】   
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