カンチレバー型圧電素子、該圧電素子を用いたセンサ及び振動素子、並びに該圧電素子の製造方法

開放特許情報番号
L2017000273
開放特許情報登録日
2017/2/8
最新更新日
2018/7/24

基本情報

出願番号 特願2016-211072
出願日 2016/10/27
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2018-073958
公開日 2018/5/10
発明の名称 カンチレバー型圧電素子、該圧電素子を用いたセンサ及び振動素子、並びに該圧電素子の製造方法
技術分野 電気・電子、情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 カンチレバー型圧電素子、該圧電素子を用いたセンサ及び振動素子、並びに該圧電素子の製造方法
目的 カンチレバー部材が新規で、シンプルな構造を有し大面積化に適するカンチレバー型圧電素子、及び該圧電素子を用いた、高解像度及び高精度で大面積化が可能なセンサ及び振動素子、並びに、材料の浪費及び環境負荷を軽減できる前記圧電素子の製造方法を提供する。
効果 カンチレバー部を構成する部材が樹脂含有層を含むので、目的とするセンサや振動素子の用途に応じて、所望のヤング率等を有するカンチレバー部を設計可能である。従来技術のように、カンチレバー型圧電素子では、カンチレバー部が無機材料のみからなるので、硬く、また、弾性層(無機材料)をさらに設ける必要があるが、本発明では、導電層/絶縁圧電材料層/導電層の最小限の構造にすることが可能である。
技術概要
カンチレバー型圧電素子は、第1の電極と、開口部とスルーホールを備える絶縁層と、該絶縁層により絶縁される第2の電極と、カンチレバー部とを備え、カンチレバー部は、第1及び第2の導電層と該導電層に挟まれる圧電材料層からなる構造を備え、導電層及び圧電材料層のうちのいずれか1以上が樹脂含有層である。カンチレバー部は、第1と第2の導電層のそれぞれが、第1の電極又は第2の電極に、直接又は接続線より導電接続されるとともに、一部が開口部上で浮遊した状態で変位部分を構成する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2018 INPIT