| 出願番号 |
特願2016-211036 |
| 出願日 |
2016/10/27 |
| 出願人 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
特開2018-069368 |
| 公開日 |
2018/5/10 |
| 登録番号 |
特許第6818296号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 発明の名称 |
カンチレバー構造体及びこれを備えるセンサ並びに製造方法 |
| 技術分野 |
情報・通信 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
カンチレバー構造体及びこれを備えるセンサ並びにカンチレバー構造体の製造方法 |
| 目的 |
カンチレバー部材が新規で、シンプルな構造を有し大面積化に適するカンチレバー構造体、及び高解像度及び高精度で大面積化が可能なセンサ、並びに、材料の浪費及び環境負荷を軽減できるカンチレバー構造体の製造方法を提供する。 |
| 効果 |
カンチレバー部の梁方向を一方向又は複数方向に揃えて、かつ、２つの互いに絶縁された電極の上に複数のカンチレバー構造体を配置して、大面積化することができる。複数のカンチレバー構造体をマトリクス化することにより、高解像化、高精度のセンサマトリクスが得られる。
カンチレバー部の梁方向を複数方向に揃えて、複数のカンチレバー構造体を配置した場合は、検出対象が、異方性の圧力や複数方向の圧力であっても、複数の軸方向の検出を行うことができるので、センシング機能の精度の向上、異方性の方向の検出、及びマップ化が可能である。 |
技術概要
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カンチレバー構造体は、第１の電極と、第１の電極と一部が積層され、絶縁層を介して絶縁される第２の電極と、樹脂含有層を少なくとも有するカンチレバー部とを備え、カンチレバー部は、一部が、第２の電極に、接着層兼導電性支柱層により導電接続され、一部が浮遊した状態である。カンチレバー構造体の第１の電極と第２の電極が、絶縁層を介して交差するマトリクス構造を備える構成とし、カンチレバー部を複数の前記交差する領域に配置することができるので、大面積化が可能である。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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