カンチレバー構造体及びこれを備えるセンサ並びに製造方法

開放特許情報番号
L2017000271
開放特許情報登録日
2017/2/8
最新更新日
2018/7/24

基本情報

出願番号 特願2016-211036
出願日 2016/10/27
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2018-069368
公開日 2018/5/10
発明の名称 カンチレバー構造体及びこれを備えるセンサ並びに製造方法
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 カンチレバー構造体及びこれを備えるセンサ並びにカンチレバー構造体の製造方法
目的 カンチレバー部材が新規で、シンプルな構造を有し大面積化に適するカンチレバー構造体、及び高解像度及び高精度で大面積化が可能なセンサ、並びに、材料の浪費及び環境負荷を軽減できるカンチレバー構造体の製造方法を提供する。
効果 カンチレバー部の梁方向を一方向又は複数方向に揃えて、かつ、2つの互いに絶縁された電極の上に複数のカンチレバー構造体を配置して、大面積化することができる。複数のカンチレバー構造体をマトリクス化することにより、高解像化、高精度のセンサマトリクスが得られる。
カンチレバー部の梁方向を複数方向に揃えて、複数のカンチレバー構造体を配置した場合は、検出対象が、異方性の圧力や複数方向の圧力であっても、複数の軸方向の検出を行うことができるので、センシング機能の精度の向上、異方性の方向の検出、及びマップ化が可能である。
技術概要
カンチレバー構造体は、第1の電極と、第1の電極と一部が積層され、絶縁層を介して絶縁される第2の電極と、樹脂含有層を少なくとも有するカンチレバー部とを備え、カンチレバー部は、一部が、第2の電極に、接着層兼導電性支柱層により導電接続され、一部が浮遊した状態である。カンチレバー構造体の第1の電極と第2の電極が、絶縁層を介して交差するマトリクス構造を備える構成とし、カンチレバー部を複数の前記交差する領域に配置することができるので、大面積化が可能である。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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