三次元形状計測システム

開放特許情報番号
L2017000264
開放特許情報登録日
2017/2/8
最新更新日
2018/6/26

基本情報

出願番号 特願2016-195480
出願日 2016/10/3
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2018-059733
公開日 2018/4/12
発明の名称 三次元形状計測システム
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 三次元形状計測システム
目的 SDPを利用して、測定試料に対し、放射方向あるいは直径方向など、第1の方向で表面の局部傾斜角度を計測するとともに、これらに交差する方向、あるいは円周方向など、第2の方向で表面の局部傾斜角度を計測し、両計測結果をベクトル情報として接続することにより、高精度な3Dトポグラフィ測定を実現する。
効果 第1の二次元形状計測機構により得られた第1の二次元形状と、第2の二次元形状計測機構により得られた第2の二次元形状とを、両者の交差点で連結することにより、両者のベクトル成分が特定され、測定対象物の三次元形状を正確に計測することが可能となる。
技術概要
測定対象物の特定の複数位置で、オートコリメータと前記測定対象物の少なくとも一方を他方に対し第1の方向に走査させ、前記測定対象物の表面における前記第1の方向の二次元形状を複数位置で計測する第1の二次元形状計測機構と、
前記オートコリメータを前記測定対象物の特定位置で、前記オートコリメータと前記測定対象物の少なくとも一方を他方に対し、前記第1の方向と交差する第2の方向に走査させ、前記測定対象物の表面における前記第2の方向の二次元形状を計測する第2の二次元形状計測機構とを備え、
前記第1の二次元形状計測機構が計測した前記第1の方向の二次元形状と、前記第2の二次元形状計測機構が計測した前記第2の方向の二次元形状とを、両者の交差点で連結することにより、前記測定対象物の三次元形状を得ることを特徴とする三次元形状計測システム。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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