複合化膜の成膜装置

開放特許情報番号
L2017000181
開放特許情報登録日
2017/2/1
最新更新日
2017/2/1

基本情報

出願番号 特願2014-246372
出願日 2014/12/5
出願人 国立大学法人富山大学
公開番号 特開2016-108602
公開日 2016/6/20
発明の名称 複合化膜の成膜装置
技術分野 金属材料
機能 機械・部品の製造
適用製品 PVD装置
目的 成膜が可能な複数のチャンバー間で成膜条件が異なっても各チャンバー間でのクロスコンタミネーションを抑えることができる複合化膜の成膜装置の提供。
効果 本発明においては、被処理物が保持された、例えば基板ホルダーからなる可動部が設けられた室の共通の空間部(S)と、成膜するチャンバーとの間の隙間から各チャンバーに向けてアルゴンガス等の共通の不活性ガスが流れ込むようにガス供給手段を備えたので、異なる反応性ガスをあるいは圧の使用しているチャンバーから他のチャンバー内にこのガスが混入するのを抑制する。
技術概要
本発明に係る複合化膜の成膜装置は、成膜が可能なチャンバーを複数配置し、前記各チャンバーを横切るように回転又は移動する可動部を有し、前記可動部は前記各チャンバーと所定の隙間を介して連通する共通の空間部(S)内に配置してあり、前記空間部(S)内は前記各チャンバーに共通するガスを用いて前記いずれのチャンバー内のガス圧よりも高く設定してあることを特徴とする。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【無】   
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