複合膜の成膜装置

開放特許情報番号
L2017000177
開放特許情報登録日
2017/2/1
最新更新日
2017/2/1

基本情報

出願番号 特願2014-097971
出願日 2014/5/9
出願人 国立大学法人富山大学
公開番号 特開2015-110827
公開日 2015/6/18
発明の名称 複合膜の成膜装置
技術分野 金属材料
機能 機械・部品の製造
適用製品 被処理物に複合膜を成膜するのに適した成膜装置
目的 複数のチャンバーで同時又は連続的に成膜する際に各チャンバー間でのクロスコンタミネーションを抑えるのに効果的な複合膜の成膜装置の提供。
効果 被処理物を保持した可動部とチャンバーの仕切り部材との間に可動部の摺接移動を許容したシール部材を配設したので、各チャンバーを実質、物理的に隔離したのでクロスコンタミネーションを防止しつつ、各チャンバー内における金属あるいは酸化物等、異なるターゲットに応じてそれぞれ最適な異なる供給ガスや減圧条件を選定することができるので、高品質のコンポジット膜や多層膜からなる複合膜を連続的に得ることができる。
技術概要
隔壁で仕切った複数のチャンバーと、当該複数のチャンバー間を横切るように可動する可動部を備え、前記可動部は被処理物の保持手段を有し、前記各チャンバーはそれぞれ減圧排気手段,ガス導入手段及び蒸気源となるターゲットの保持手段を有し、前記可動部と隔壁又はチャンバー内壁との間に形成された直接又は間接的な隙間に前記可動部の摺接移動を許容しながら当該隙間をシールするシール手段を有することを特徴とする。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【無】   
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