出願番号 |
特願2012-037573 |
出願日 |
2012/2/23 |
出願人 |
国立大学法人埼玉大学 |
公開番号 |
特開2013-173082 |
公開日 |
2013/9/5 |
登録番号 |
特許第5945379号 |
特許権者 |
国立大学法人埼玉大学 |
発明の名称 |
有機薄膜の成膜方法とそれを用いて形成した太陽電池 |
技術分野 |
機械・加工、電気・電子 |
機能 |
機械・部品の製造 |
適用製品 |
有機物の薄膜を形成する方法と、その方法を利用して形成した太陽電池 |
目的 |
基板に均一な有機薄膜を形成する成膜方法を提供し、また、その方法を用いた太陽電池の製造方法を提供する。 |
効果 |
本発明の成膜方法を用いれば、有機物の塗膜が載り難い基板の上にも、均一な有機物薄膜を形成することができる。
また、この方法を太陽電池に適用することで、太陽電池を簡単、且つ、安全に製造することができる。 |
技術概要
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基板上に有機物薄膜を形成する成膜方法であって、
前記有機物の前躯体の液滴を帯電させて静電力で加速し、基板に衝突させて該基板上に前記有機物の初期段階の薄膜を形成する第1の成膜ステップと、前記初期段階の薄膜が形成された前記基板に前記有機物の溶液を塗布して前記有機物の塗膜を形成する第2の成膜ステップと、を備えることを特徴とする有機物薄膜の成膜方法。 |
実施実績 |
【無】 |
許諾実績 |
【無】 |
特許権譲渡 |
【否】
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特許権実施許諾 |
【可】
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