配線構造および配線方法

開放特許情報番号
L2016001995
開放特許情報登録日
2016/12/23
最新更新日
2016/12/23

基本情報

出願番号 特願2014-135740
出願日 2014/7/1
出願人 国立大学法人 筑波大学
公開番号 特開2016-015367
公開日 2016/1/28
発明の名称 配線構造および配線方法
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 配線構造および配線方法
目的 金属から構成され、アスペクト比が大きいナノワイヤーを有する配線構造および配線方法を提供する。
効果 接合前にナノワイヤーを作製する必要はなく、電極に金属ナノチップを接触させてから引き離すだけで、ナノワイヤーの作製と電極への接合が完結し、ナノワイヤーの両端にそれぞれ金属電極が接合された配線構造が得られる。このため、ナノワイヤーを自在に電極間に形成することができる。このようなナノワイヤーを金属配線に利用した場合、基板上の配線に限らず、層間配線など、三次元的な配線に応用可能である。
技術概要
対をなす金属電極の間にナノワイヤーが形成された配線構造であって、ナノワイヤーは、金属または金属化合物の三次元結晶からなり、ナノワイヤーのアスペクト比が5以上であることを特徴とする。第1の金属電極の表面を第2の金属電極の表面に接触させた後、第1の金属電極を第2の金属電極から引き離すことにより、第1の金属電極と第2の金属電極との間にナノワイヤーを形成する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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