| 出願番号 |
特願2014-135740 |
| 出願日 |
2014/7/1 |
| 出願人 |
国立大学法人 筑波大学 |
| 公開番号 |
特開2016-015367 |
| 公開日 |
2016/1/28 |
| 発明の名称 |
配線方法 |
| 技術分野 |
電気・電子 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
配線構造および配線方法 |
| 目的 |
金属から構成され、アスペクト比が大きいナノワイヤーを有する配線構造および配線方法を提供する。 |
| 効果 |
接合前にナノワイヤーを作製する必要はなく、電極に金属ナノチップを接触させてから引き離すだけで、ナノワイヤーの作製と電極への接合が完結し、ナノワイヤーの両端にそれぞれ金属電極が接合された配線構造が得られる。このため、ナノワイヤーを自在に電極間に形成することができる。このようなナノワイヤーを金属配線に利用した場合、基板上の配線に限らず、層間配線など、三次元的な配線に応用可能である。 |
技術概要
 |
対をなす金属電極の間にナノワイヤーが形成された配線構造であって、ナノワイヤーは、金属または金属化合物の三次元結晶からなり、ナノワイヤーのアスペクト比が５以上であることを特徴とする。第１の金属電極の表面を第２の金属電極の表面に接触させた後、第１の金属電極を第２の金属電極から引き離すことにより、第１の金属電極と第２の金属電極との間にナノワイヤーを形成する。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
)